本报南昌讯 (记者殷勇) 1400℃！这差不多是钢融化的温度，这也是生产深紫外LED外延晶片的核心装备MOCVD设备的反应腔温度。近日，在位于南昌高新区的南昌中微半导体设备有限公司，负责人告诉记者，正是因为公司最新推出的量产深紫外LED的MOCVD设备，在这样一个比普通MOCVD设备高得多的腔体温度下，也能实现对温度均匀性的精准控制，满足了深紫外LED大批量、低成本制造的一系列需求，从今年6月起，这一具有世界领先水平的核心装备从南昌走向国内外市场。由此，南昌向着世界LED产业的制高点，再次攀登了一大步。
LED产业和集成电路产业一样，是半导体产业的重要分支，曾经存在着芯片关键技术和核心制造装备等产业金字塔的制高点受制于人的情况。不过，得益于南昌在LED领域的不断创新，16年前，诞生于南昌的硅衬底LED技术，一举改变了日美公司分别垄断蓝宝石衬底和碳化硅衬底芯片技术的局面，并在2015年获得国家技术发明一等奖。通过16年的不懈努力，“中国芯”吸引并孵化上百家企业，在南昌形成了一个高端特种照明产业集群。这是南昌向LED产业制高点发起的第一次冲击。
站在更高的台阶，南昌仰望产业金字塔的“塔尖”――技术密集度最高，生产LED芯片的上游产品，LED外延片最为核心的MOCVD设备如果长期依赖国外，自主LED产品的研发和制造受到诸多限制，南昌LED产业要想获得长远的发展，就必须在这一领域有所突破。他们走上了另一条创新之路。
2017年底，有感于南昌人独具创新的“重资本、轻资产”招商政策和完善的自主产业链，特别是对产业创新的执着追求，当时，刚在国内实现应用于蓝光LED的MOCVD设备自主研发的中微公司，选择在南昌扩充其产能，并把这里作为最主要的MOCVD设备制造基地。2018年3月，公司就生产出了南昌制造的第一台MOCVD设备。有了南昌的鼎力相助，当年，中微公司MOCVD设备产量超过100腔体。2019年，这一数字进一步攀升。由于同样性能水平下，设备产能高出国外设备20%，中微公司仅用一年时间，就受到诸多国内客户的青睐，成为下游企业应用于蓝光LED的MOCVD首选设备。
如今，随着市场对高产能、低能耗MOCVD设备的需求更趋强烈，特别是深紫外LED为整个产业打开了一片蓝海，8月5日，在南昌的进一步支持下，中微公司新的生产研发基地开工建设，将使其MOCVD设备的年产能进一步扩充。同时，中微公司还将在南昌开展与MOCVD设备相关的基础科学研究和第三代半导体应用产品开发，逐步将南昌打造成世界级MOCVD设备研发、制造及创新中心。
从创造“中国芯”，到核心装备“中国造”，再到全自主产业链的协同创新，届时，南昌将真正站上世界LED产业的制高点。
